石英晶體速率PID控制器通常允許您編程所需的熱量曲線（根據源功率而不是實際溫度），以便在打開源閘和開始實際沉積之前對材料進行預處理。用戶可以通過實驗確定每種能源或材料的配置文件，並且通常將PID控制器中的配置文件格式化為具有兩個單獨的順序功率上升至某個“保持”水平並保持一段時間。
第一次上升通常會比較慢，並且會停在剛好低於汽化的某個水平，並保持它達到可接受的平衡度，然後再進行第二次上升至汽化。理想情況下，後者應該是所需沉積速率的實際功率水平，並且在大多數情況下，由於您現在將消耗材料並塗覆百葉窗的底部，因此第二次傾斜和浸泡變得相當短暫。但是這些細節是用戶的選擇。PID控制器可讓您決定所需的方式。
完成最後的浸泡後，控制器將打開百葉窗並轉換為閉環功率控制，以保持編程的沉積速率，並繼續直至達到最終的編程膜厚。那時，百葉窗關閉，控制器執行用戶編程的冷卻過程，類似於加熱過程。閉環控制通常是PID控制器，用戶可以控制參數，包括不使用全部三個參數的選項。例如，取決於電源的特性，單獨使用PID控制可能有效。如前所述，該儀器通常提供數據顯示的選擇，最流行的是速率與時間的關係。
在此類PID控制器中可以有多種其他選擇，例如以每秒埃的沉積速率建立閉環控制，然後保持在這種控制下，將速率提升（或降低）到新的速率並從那裡繼續，最終仍會沿途達到幾個可能的控制速率段，最終達到最終的編程厚度。https://tw.azbil.com/info_category/pid%E6%8E%A7%E5%88%B6%E5%99%A8-%E8%A8%98%E9%8C%84%E5%99%A8/
